10nm 扩展 ISO Class1 条形离子发生器 AeroBarMP5635
兼容扩展ISO Class1、10纳米 条形离子发生器 AeroBarMP 型号5635产品信息型号5635 AeroBarMP离子发生器，是专为尖端半导体制造工序等需管控100纳米以下微小颗粒的场景设计的除静电产品，可适配超低颗粒环境要求。核心特点单晶硅电极在全球范围内拥有无可比拟的应用实绩，兼具超低颗粒排放特性，同时可规避电极材料带来的金属污染风险。采用独创的MP（脉冲调制）技术，具备高效将离
兼容扩展ISO Class1、10纳米 条形离子发生器 AeroBarMP 型号5635
产品信息
型号5635 AeroBarMP离子发生器，是专为尖端半导体制造工序等需管控100纳米以下微小颗粒的场景设计的除静电产品，可适配超低颗粒环境要求。
核心特点
单晶硅电极在全球范围内拥有无可比拟的应用实绩，兼具超低颗粒排放特性，同时可规避电极材料带来的金属污染风险。
采用独创的MP（脉冲调制）技术，具备高效将离子输送至目标区域的优异除静电性能。
具备小电位摆动特性，即便在100毫米距离下仍可稳定使用；且沿条形长度方向离子平衡均匀性佳，偏差极小。
搭载智能控制电路，可实时自动监控并调节离子发生状态及离子平衡。
电极采用可更换设计，仅需1/4圈旋转即可完成装卸，大幅减少维护工时。
MP技术的核心优势在于电位摆动极小，不仅简化了设备调试流程，还能有效确保长期使用过程中离子平衡始终维持在管理标准范围内。
提供适配半导体前工序EFEM（设备前端模块）的条形长度规格，适配性更强。
内置24伏直流驱动控制器，设计紧凑小巧，节省安装空间。
全球范围内可享受高水平的技术支持网络服务，保障使用体验。
产品规格
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 输入电压 | 24伏直流 ±10% |
| 输出电压 | 最大约13.5千伏峰峰值，可调节 |
| 安装距离 | 100毫米～1000毫米（无气体吹扫） |
| 离子发生方式 | 电晕放电方式；MP（脉冲调制）方式，调制频率1～33赫兹 |
| 离子平衡 | 自动平衡调节方式；条形正下方（600毫米距离），偏差±10伏以内，不同位置差异±10伏以内 |
| 电极 | 单晶硅电极，可更换 |
| 吹扫气体 | 洁净干燥空气或氮气（N₂） |
| 最大吹扫压力 | 310千帕 |
| 臭氧排放量 | ＜0.05ppm（24小时累计值） |
| 信号输出 | 报警IO，集电极开路输出 |
| 尺寸 | 高度78毫米 × 深度34毫米 × 长度（可选规格）：450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350毫米 |
| 外壳材质 | ABS树脂 |
什么是扩展ISO Class1、10纳米？
扩展ISO Class1、10纳米是ION Systems为适配微小颗粒管控需求而独自定义的洁净度标准。
ISO14644-1标准的最小粒径定义为100纳米，而扩展ISO Class1、10纳米采用与ISO14644-1相同的允许颗粒数计算公式，其允许颗粒数为：粒径10纳米及以上的颗粒，每立方米不超过1200个（每立方英尺34个）。