5225 AeroBar 棒式离子发生器——超洁净工艺设备专用

5225 AeroBar 棒式离子发生器是 Simco-Ion 专为半导体等超洁净工艺设备场景设计的专业除电设备，采用先进技术与精准控制方案，适配高洁净度、高精密工艺需求，为超洁净环境下的静电消除提供稳定可靠的解决方案。

一、核心产品特点

1. 超低污染与高洁净特性：搭载在全球范围内拥有卓越应用实绩的单晶硅电极，不仅具备超低颗粒物释放特性，还能从根源上避免电极材料带来的金属污染风险，完美契合半导体等对污染零容忍的精密工艺场景。

2. 广范围除电能力：采用脉冲直流（脉冲DC）方式，可实现大范围、快速静电消除，高效覆盖超洁净工艺设备内的除电需求，适配不同距离的除电目标。

3. 稳定离子性能与精准平衡：由全数字电路控制，离子发生稳定性更强，能长期维持精准的离子平衡，避免因离子失衡对精密产品造成潜在影响。

4. 灵活离子平衡控制：支持两种离子平衡调节模式——除电目标附近可安装5200-SR外部传感器（可选配件），实现对目标区域而非离子棒本体的离子平衡反馈控制；未连接外部传感器时，离子棒内置传感器自动调节离子平衡，适配不同安装场景需求。

5. 定制化尺寸适配：针对半导体前工序的EFEM（设备前端模块）设计专属长度的离子棒，可精准匹配设备内部空间，无需额外改造即可便捷安装。

6. 多场景灵活适配：离子发生输出、离子发生时间、报警阈值等多种参数可在宽范围内自由设定，能灵活应对长距离除电、气流微弱等特殊环境，适配不同工艺场景的个性化需求。

7. 便捷操作与高再现性：仅需通过数值输入即可完成参数设定，不仅能快速完成设备调试与 setup 流程，还能保证参数设置的高再现性，降低批量生产中的工艺波动风险。

8. 全面监控与状态反馈：除基础报警IO接口外，可通过免费提供的DLL组件实现实时监控功能，帮助工作人员精准掌握工艺设备内的除电状态与离子发生器运行情况，为工艺稳定性提供数据支撑。

二、详细技术规格

（一）5225 AeroBar 离子发生器本体

（二）接口模块 Model 5200-IM6T