局部清洁除静电离子发生器 QuadBar 型号4635
一、产品概述QuadBar 型号4635是SIMCO推出的高清洁度除静电离子发生器,在传统型号4630/4632的基础上进行深度优化,进一步提升了除电性能与操作便捷性。该产品专为空间受限、气流环境特殊的场景设计,尤其适用于半导体制造中的光罩(レチクル)除电、晶圆处理等对洁净度与除电精度要求极高的场景,可在复杂环境下实现稳定、高效的静电消除。二、核心特点自动离子平衡调节,免维护操作采用SIMCO独自
一、产品概述QuadBar 型号4635是SIMCO推出的高清洁度除静电离子发生器,在传统型号4630/4632的基础上进行深度优化,进一步提升了除电性能与操作便捷性。该产品专为空间受限、气流环境特殊的场景设计,尤其适用于半导体制造中的光罩(レチクル)除电、晶圆处理等对洁净度与除电精度要求极高的场景,可在复杂环境下实现稳定、高效的静电消除。二、核心特点自动离子平衡调节,免维护操作采用SIMCO独自
QuadBar 型号4635是SIMCO推出的高清洁度除静电离子发生器,在传统型号4630/4632的基础上进行深度优化,进一步提升了除电性能与操作便捷性。该产品专为空间受限、气流环境特殊的场景设计,尤其适用于半导体制造中的光罩(レチクル)除电、晶圆处理等对洁净度与除电精度要求极高的场景,可在复杂环境下实现稳定、高效的静电消除。
自动离子平衡调节,免维护操作
采用SIMCO独自的IsoStat技术,可自动调节离子平衡,无需人工进行调整作业,长期使用仍能保持稳定的离子平衡状态,降低运维成本。
宽电压兼容,适配多场景供电
支持24V DC与24V AC双电源输入,满足不同工业环境的供电需求,无需额外配置专用电源,提升安装灵活性。
高洁净电极,保障半导体安全
电极采用可更换单晶硅材质,无微粒脱落风险,清洁度符合半导体器件生产要求,避免对精密元件造成污染或损伤。
紧凑设计+短安装距离,布局灵活
最小安装距离仅7.6cm,机身尺寸小巧(高33mm×宽33mm×长91mm,不含空气连接部),可在狭窄空间内灵活布置,适配复杂的设备布局。
高效吹扫气流,实现长距离高速除电
全新设计的吹扫气流通道(Cross-Channel Air Delivery),搭配可选的“喷射跨通道滤芯(Jet Cross-Channel Cartridge)”,可实现长距离静电消除,同时大幅提升除电速度。
额外功能升级(补充特性)
支持滤芯旋转设计(Rotatable Cartridge),便于根据场景调整气流方向;
采用四极结构(Quadropole Configuration),优化离子分布,减少电场电压干扰;
具备报警输出功能,可连接至FMS(工厂制造系统)或工艺工具控制器,实时监控设备状态。
| 规格类别 | 具体参数 |
|---|---|
| 离子发生方式 | 电晕放电式 稳态DC方式(Steady-State DC) |
| 电极 | 单晶硅材质,支持更换 |
| 清洁度等级 | 24V DC供电:ISO Class 1;24V AC供电(搭配33-1421-01变压器/4030控制器):ISO Class 2 |
| 兼容吹扫气体 | 清洁干燥空气(Clean Dry Air)、氮气(N₂) |
| 空气连接方式 | 4mm内径配管 |
| 空气流量范围 | 最大25LPM(升/分钟) |
| 输入电压 | 24V AC:±5%偏差,50/60Hz,典型电流0.1A(功耗约2.4W); 24V DC:±5%偏差,典型电流0.025A(功耗约0.6W) |
| 除电时间 | 标准滤芯:15LPM吹扫气体、30cm距离下,<15秒; 喷射跨通道滤芯:15LPM吹扫气体、30cm距离下,<6秒 |
| 离子平衡 | 15cm距离下,±20V(部分场景兼容±50V,以实际应用环境为准) |
| 最大可连接数量 | 搭配14-1535变压器:最多4台;搭配4030控制器:最多15台(部分规格支持16台) |
| 机身尺寸(不含空气连接部) | 高33mm × 宽33mm × 长91mm(带法兰时:高36.1mm×宽33.5mm×长114mm) |
| 重量 | 108g(约0.24磅) |
| 认证标准 | CE、RoHS、TOV(符合国际工业安全与环保标准) |
半导体制造行业:前端半导体制造(晶圆加工)、后端半导体封装测试。
光罩(Reticle)除电:针对光罩存储、传输过程中的静电消除,避免静电吸附微粒影响光刻精度;
晶圆处理:在晶圆搬运机器人的上下方安装,可同时消除晶圆正面与背面的静电,且不受气流环境影响;
精密电子元件生产:空间受限的洁净工位(如芯片封装、微型传感器组装)的局部静电控制。
高洁净+高安全:ISO Class 1级清洁度与单晶硅电极,适配半导体等精密制造场景,无微粒污染风险;
高效除电:最快6秒完成30cm距离除电,满足高速生产节奏需求;
灵活适配:宽电压、小尺寸、多台联动,适配不同供电环境与复杂设备布局;
低运维成本:自动离子平衡调节+可更换电极,减少人工维护频率与成本。