Simcoion 4214 型 内联式氮气离子izer
产品介绍Simcoion 4214型内联式氮气离子izer专为超高洁净度工艺场景设计，可在高纯度氮气环境下实现扩展ISO Class1 10nm 级别的超高洁净度，同时达成优异的离子平衡效果，是尖端半导体制造等超低颗粒物要求领域的理想除静电解决方案。产品核心特点超低颗粒物适配：采用单结晶硅电极，从源头减少颗粒物产生，适配超高洁净工艺要求。长效洁净稳定：搭载独家洁净机构，无颗粒物向外释放，可长期维持
产品介绍
Simcoion 4214型内联式氮气离子izer专为超高洁净度工艺场景设计，可在高纯度氮气环境下实现扩展ISO Class1 10nm 级别的超高洁净度，同时达成优异的离子平衡效果，是尖端半导体制造等超低颗粒物要求领域的理想除静电解决方案。
产品核心特点
超低颗粒物适配：采用单结晶硅电极，从源头减少颗粒物产生，适配超高洁净工艺要求。
长效洁净稳定：搭载独家洁净机构，无颗粒物向外释放，可长期维持稳定的高洁净度。
免调试智能控制：集成智能控制回路，全程无需人工调试，降低操作与维护成本。
实时监测除电：内置离子监测传感器，持续监控离子发生状态，确保除静电效果可靠。
紧凑一体化设计：控制器与电源内置，整体结构小巧，节省设备安装空间。
智能安全保护：氮气低流量时自动触发高电压关断功能，有效保护产品核心部件。
专用场景适配：完美匹配尖端半导体制造工程及各类超低颗粒物要求的工艺场景。
便捷供电设计：采用24V DC直流驱动，可直接对接设备电源，集成性强。
产品技术规格
| 项目 | 技术参数 |
|---|---|
| 输入电压 | 24V DC±5%，典型功耗6W |
| 离子平衡 | 无配管连接、150mm距离、40LPM流量下，≤±25V |
| 除电时间 | 无配管连接、150mm距离、40LPM流量下，从±1kV中和至±100V≤10秒（带电平板监测） |
| 离子发生方式 | 电晕放电式 高频AC方式 |
| 洁净度 | 标准ISO Class1（0.1微米）；扩展ISO Class1（10nm） |
| 电极 | 单结晶硅材质，支持更换 |
| 适配吹扫气体 | 氮气（纯度≥99.998%） |
| 气体流量 | 36.5Kpa下40LPM ~ 171Kpa下90LPM |
| 最大吹扫压力 | 207Kpa（对应100LPM流量） |
| 最大气体温度 | 60℃ |
| 氮气吹扫接口 | Swagelok3/8" OD 配管 |
| 离子化氮气接口 | 1/4NPT阴螺纹连接器；可选配28-25710-SC接头接Swagelok1/2"OD配管 |
| 使用温度范围 | 15～60℃ |
| 信号输出 | 通断接点输出，支持警报及离子量低下信号反馈 |
| 外形尺寸 | 152.4mm(长)×72.4mm(宽)×32mm(深)（不含配管部分） |
| 产品重量 | 640g |
| 外壳材质 | 不锈钢 |
| 安装方式 | 背面M5螺丝固定，螺丝长度需小于10mm |
扩展ISO Class1 10nm 洁净度说明
扩展ISO Class1 10nm是ION Systems为适配微小颗粒物精细化管理需求，独立制定的洁净度定义，区别于常规ISO14644-1标准（最小定义粒径为100nm）。
该洁净度等级沿用ISO14644-1标准的允许颗粒物数计算公式，对10nm及以上粒径的颗粒物管控标准为：≤1200个/立方米（34个/立方英尺），可满足半导体22nm及以下制程的超高洁净要求。
产品核心优势
本产品摒弃传统氮气离子izer依赖氮气流中微量气体产生离子的方式，通过高效小功率电源直接电离氮分子，结合高频AC电离技术，实现快速除电与稳定离子平衡；同时内置颗粒物收集系统，确保电离过程无二次污染，是超高洁净工艺中静电中和的专用解决方案，可无缝集成至各类工艺设备中，适配设备内有限的安装空间。