日本Fluoro Mechanic无油隔膜真空泵FV-30
Oil Free Diaphragm Vacuum Pump with Built in HEPA filters内置高效微粒空气过滤器的无油隔膜真空泵
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Built in inlet and outlet HEPA filters*内置进风口和出风口高效微粒空气过滤器* The filter windows** 过滤窗** Oil-free for cleanroom use 适用于洁净室的无油设计 Long term high reliability 长期高可靠性 Designed to minimize noise generation设计用于*大限度降低噪音 Nylon body for static protection 尼龙机身具备防静电保护 Compact design 紧凑设计 ESD Safe Tubing (Accessory) ESD **软管（配件） Static-Dissipative Grounding Kit (Accessory)防静电耗散接地套件（配件） HEPA Filter Kit (Replacement Part) 高效微粒空气过滤器套件（更换零件） Compliance with CE regulations 符合CE法规
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| *trap 99.97% of all particles down to 0.3 microns可捕获0.3微米及以上的所有颗粒，过滤效率达99.97% |
| **let you know when to change HEPA filters**提醒你何时需要更换高效微粒空气过滤器** |
Specifications 规格参数
| Model 型号 | FV-30-110 | FV-60-110 |
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| Flow Rate 流量 | 2.5 l/min (0.088 cfm) 2.5 l/min（0.088 cfm） | 2.5 l/min (0.088 cfm) 2.5 l/min（0.088 cfm） |
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| Ultimate Pressure 极限压力 | -300 mmHg (-40 kPa) -300 毫米汞柱（-40 千帕） | -600 mmHg (-80 kPa) -600 毫米汞柱（-80 千帕） |
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| Power Requirement 电源要求 | 100-120 VAC 100-120 伏交流电 | 100-120 VAC 100-120 伏交流 |
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| Consumption Power 消耗功率 | 5.0 W 5.0 瓦 | 10.0 W 10.0 瓦 |
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| Dimensions (D x W x H) 尺寸（深×宽×高） | 137 x 88 x 85 mm 137×88×85毫米 | 137 x 88 x 133 mm 137×88×133毫米 |
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| Weight 重量 | 800 g 800克 | 1250 g 1250克 |
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| Duty Cycle 工作周期 | Continuous 连续 | Continuous 连续 |
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| Life Expectancy 使用寿命 | > 8760 hours > 8760小时 | > 8760 hours > 8760小时 |
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| Wafer Size 晶圆尺寸 | Up to 6-inch *大6英寸 | 8 and 12-inch 8英寸和12英寸 |
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240VAC versions available (FV-30-240, FV-60-240)提供 240VAC 版本（型号 FV-30-240、FV-60-240）
Specifications are subject to change without notice.规格如有更改，恕不另行通知。
Do not let the pump inhale dust or fluid.切勿让泵吸入灰尘或液体。
