Aera FC-R7700系列Hitachi Metals日立金属质量流量控制器
Aera MFC FC-R7700 系列的特点高速响应─输入设定值后2秒内流量稳定弹性体（橡胶）密封件VCR、VCO 和 Swagelok 兼容连接满量程流量范围从 10sccm 到 200slm常闭或常开电磁控制阀外部泄漏率 1x10-7Pa・m3/sec (He) 以下
Aera MFC FC-R7700 系列的特点
高速响应─输入设定值后2秒内流量稳定
弹性体（橡胶）密封件
VCR、VCO 和 Swagelok 兼容连接
满量程流量范围从 10sccm 到 200slm
常闭或常开电磁控制阀
外部泄漏率 1x10-7Pa・m3/sec (He) 以下
