Aera FC-R7800系列金属密封型Hitachi Metals日立金属质量流量控制器
Hitachi Metals Aera® FC-R7800 系列提供精确的流量控制以及金属密封件的耐腐蚀性和高泄漏完整性，适合大多数气体控制应用。
Aera MFC FC-R7800 系列的特点
高速响应 - 输入设定值后，流量在 1 秒内稳定
耐腐蚀设计
使用金属密封
VCR 兼容连接
满量程流量范围从 10sccm 到 200slm
常闭或常开电磁控制阀
外部泄漏率 1x10-11Pa・m3/sec (He) 以下
